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武漢銥科賽科技有限公司

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晶圓激光裂片機

晶圓在生產(chǎn)完畢后,要進(jìn)行晶圓切割,目前采用的切割手段依然是采用金剛石刀輪切割,主要設備是日本DISCO公司,中國北京45所也做該類(lèi)設備,但是與日本進(jìn)口設備依然存在很大的代差。 

激光行業(yè)有一直在尋找激光晶圓切割方案,比較流行的是超快激光,采用多激光焦點(diǎn)進(jìn)行隱形切割,達到晶圓的切割目的。這種方法目前還沒(méi)有被業(yè)內所接受,主要是激光切割過(guò)程中還是有切割缺陷,該缺陷導致芯片三點(diǎn)抗壓強度下降。 

我司授權發(fā)明#,采用了激光與冷媒形成晶圓內外應力差達到硅晶圓應力裂片,芯片側面為解理面,不降低芯片三點(diǎn)抗壓強度。我司的授權發(fā)明技術(shù)方案,應該是激光在晶圓切割領(lǐng)域最有希望替代機械切割的技術(shù)路線(xiàn),也將完全替代日本進(jìn)口金剛石刀輪劃片機。

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銥科賽專(zhuān)注激光設備15年, 因為專(zhuān)注,所以專(zhuān)業(yè)
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武漢銥科賽科技有限公司是一家位于武漢·中國光谷的高端激光微加工裝備公司,專(zhuān)注于具有自主知識產(chǎn)權的自動(dòng)化高精密激光應用裝備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷(xiāo)售,目前成熟主要產(chǎn)品包括線(xiàn)路板激光盲孔鉆孔機與線(xiàn)路板激光通孔鉆孔機及其配套自動(dòng)化收放卷料機、5G線(xiàn)路板納秒紫外激光潔凈冷切割機,即將推向市場(chǎng)的HDI硬板激光鉆孔機及其配套自動(dòng)化配套設備,處于公司未來(lái)規劃中的設備有:硅晶圓激光裂片機、晶圓芯片級激光標刻機、硅晶圓激光鉆孔機、LTCC紫外激光鉆孔機等,這些將廣泛應用于電子電路、半導體行業(yè)。公司核心團隊由行業(yè)資深專(zhuān)家、工程師、資本投資組成,專(zhuān)注于具有核心激光微加工工藝的激光微加工裝備的開(kāi)發(fā)與優(yōu)化。公司立志成為中國高端微加工領(lǐng)域領(lǐng)軍企業(yè),堅持自主研發(fā),技術(shù)創(chuàng )新,為客戶(hù)提供最具價(jià)值的高端激光應用解決方案,所有產(chǎn)品設計及生產(chǎn)環(huán)節均自主可控,并形成專(zhuān)利保護自有技術(shù)(CN201620008544.7;CN201610004473.8;CN201811301064.X;CN201910322964.0;CN201910488076.6)。不極致,不登場(chǎng)!全力以赴,做中國高端激光微加工領(lǐng)軍企業(yè)!
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